一、萬級淨化概括:
萬級淨化主要靠(kào)潔淨的氣流不斷稀釋(shì)室(shì)內的空氣,將室(shì)內的汙染逐(zhú)漸排出,來實現(xiàn)潔淨效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動,拌有回流或渦(wō)流,不同等級的無塵室,主(zhǔ)要是依靠單位時間內(nèi)所送風量的不同來實現.。 目前有十萬級和三十萬級兩種標準。
二、萬(wàn)級淨(jìng)化潔(jié)淨室:
潔淨室(Clean Room),亦(yì)稱為無塵室或清淨室。
「潔淨室」是(shì)指將一定空間範圍(wéi)內之空氣中(zhōng)的微粒(lì)子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及(jí)照明、靜電控製在某(mǒu)一需求範圍內,而所給(gěi)予特別(bié)設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要(yào)求之潔淨度、溫(wēn)濕度及壓力等性能之特性。
三、萬級淨化作用
潔淨室最(zuì)主要之作用在於控製產品(如矽(guī)芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及(jí)溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造,此空間老汉私人影院永久入口稱(chēng)之(zhī)為「潔淨(jìng)室」。
世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多(duō),以下僅就209D及209E和世界(jiè)上其它各國製定標準作介紹與相互比(bǐ)較。
209E與209D等(děng)最大之不同在於(yú)209E表示單位增加了公製(zhì)單位,潔淨室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配(pèi)合國際公製單位之標準化,M字母後之阿(ā)拉伯數目字是以每(měi)立方公尺中>=0.5μm之微(wēi)塵粒(lì)子數目字(zì)以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵粒子數介於前後(hòu)二(èr)者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
美國聯邦標準(zhǔn)FS 209D都(dōu)以英製(zhì)每立方英呎為單位,日本則是采用公(gōng)製,即以每立方公(gōng)尺為單位,以(yǐ)0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示(shì)法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級為Class 1,最差則為Class 8,以每立(lì)方公尺中微塵粒(lì)子總數中化為10的冪次方,取其指數而得。
四、萬級淨化潔淨室分類:
(1)、工業潔淨室——以無生命微粒的控製為對象。主要控製空氣塵埃微粒對工作對象的汙染,內部一般保持正壓(yā)狀態。 它適用於精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航(háng)工業、高純度化學(xué)工業、原子能工業、光磁(cí)產品(pǐn)工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶(jīng)玻璃)、電腦硬(yìng)盤、電腦磁頭(tóu)生產等多行業。
(2)、生物潔淨室,主要控製有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的汙染(rǎn)。又可分為; A、 一般生物潔淨室,主要控製微(wēi)生物(細菌)對象的汙染。同時(shí)其內部材料要(yào)能經(jīng)受各種滅(miè)菌劑侵蝕,內部一般保證正壓(yā)。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業潔淨室。例:製藥工業、醫院(手術室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產品生產、動(dòng)物實驗室、理(lǐ)化檢驗室、血站等。B、 生物學安全潔淨室(shì):主要控製工作對象的有生(shēng)命微粒對外界和人的汙(wū)染。內部要保(bǎo)持與大氣的負壓。例:細菌學、生物學、潔淨實驗室、物物工(gōng)程(重組基因、疫苗製備)、
五、萬級淨化亂流潔淨室的原理(lǐ)和特性:
1、定義(yì):亂(luàn)流(liú)潔淨室的定義是氣流以不(bú)均(jun1)勻速(sù)度、不(bú)平行流(liú)動、伴有回流或渦流的潔淨室.
2、原(yuán)理:亂流潔淨室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將汙染空氣逐漸稀(xī)釋,來實現潔淨的(亂流潔(jié)淨(jìng)室(shì)一般設計在千級以上至30萬級淨化級別)。
3、特性:亂流(liú)潔淨室是靠多次換氣來實現潔淨與潔淨(jìng)級別。換(huàn)氣次數決(jué)定定義中的淨化級別(換氣次數越多,淨化級(jí)別越高)
(1)、自淨時間:是指潔淨室按設計(jì)換氣次數開始送風到潔淨室,室內(nèi)含(hán)塵濃度達到所設計(jì)的淨化級別的時(shí)間(jiān)。 1,000級希望不(bú)超過20min(分鍾) (可取15min計算) 10,000級希(xī)望不超過(guò)30min(分(fèn)鍾) (可取(qǔ)25min計算) 100,000級(jí)希望不超過40min(分鍾) (可取30min計算)
(2)、換氣次數(shù)(按上(shàng)述自淨時間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小(xiǎo)時 (規範:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規範:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規(guī)範:15次/小時)
六、萬級淨化潔淨室換氣次數估算:
千級潔淨室不小於(yú)50次/h;
萬(wàn)級潔(jié)淨(jìng)室不小於25次/h;
十萬級潔淨室不小於15次/h。
萬級換氣次數[1] ≥25次(cì)/小時(一般取27-28);十萬級換氣次數≥15次/小時(一般17-18)
但是不能盲目按(àn)照換氣次數進行(háng)設計風量,要考慮房間及工(gōng)藝餘熱、餘濕。