一、萬級淨(jìng)化(huà)概括:
萬級淨化主要靠潔淨的氣流不斷稀釋室內的空(kōng)氣,將室內的汙(wū)染逐漸排出,來(lái)實現潔淨效果。室內的氣流是以不均勻(yún)的速度呈不平行流動(dòng),拌有回流(liú)或渦流,不同等級的無塵室,主要是依(yī)靠單(dān)位時(shí)間(jiān)內所送(sòng)風量的不同(tóng)來實現.。 目前有十萬級(jí)和三十(shí)萬級兩種標準。
二、萬級淨化潔淨室:
潔淨(jìng)室(Clean Room),亦稱為無塵室或(huò)清(qīng)淨室。
「潔淨室」是指將一定空(kōng)間範圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內之溫度、潔(jié)淨度、室內壓力(lì)、氣流速度與氣流(liú)分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內,而所給(gěi)予特別設計之房間。亦即是(shì)不論外在之(zhī)空氣條件如何變化(huà),其室內均能俱有維持原先所(suǒ)設定要求之潔淨度(dù)、溫濕(shī)度及壓力等性(xìng)能之特性。
三、萬(wàn)級淨化作用
潔淨室最主要之(zhī)作用在於(yú)控製產品(如矽芯片等)所接觸(chù)之大氣的潔淨度(dù)日及溫濕度,使產品能在一個(gè)良好(hǎo)之環境空間中(zhōng)生產、製造,此空間老汉私人影院永久入口稱之為「潔淨室」。
世界各(gè)國均有自定規格,但普遍還是(shì)用美國聯邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國製定標準作介紹與相(xiàng)互比較。
209E與209D等最大之不同在於209E表示單位增加了公製(zhì)單位,潔淨室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國際公製單位之標準化,M字母後之阿拉伯數目字是以每立方(fāng)公(gōng)尺(chǐ)中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵粒子數介於前後二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
美國聯邦標準FS
209D都以英製每立方英呎(chǐ)為單位,日本則是采用公製,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數標準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示(shì)法以Class
1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好(hǎo)的等(děng)級為Class 1,最差則(zé)為Class
8,以每立(lì)方公尺中微塵(chén)粒子總(zǒng)數中化為10的冪次方,取其指數(shù)而(ér)得。
四、萬級淨化潔淨室分類:
(1)、工業潔淨室——以(yǐ)無生命微粒的控製為對象。主要控(kòng)製(zhì)空氣塵埃微粒對工作對象的汙染,內部一般保持正壓狀(zhuàng)態。
它適用於(yú)精密機(jī)械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁(cí)產品工業(光盤、膠片(piàn)、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁(cí)頭生(shēng)產等(děng)多(duō)行業。
(2)、生物潔淨室,主要(yào)控製有生命微粒(細菌)與(yǔ)無生命微粒(塵埃)對工作對象的汙染。又可分為;
A、
一(yī)般生物(wù)潔淨室(shì),主要控製微生(shēng)物(細菌)對象的汙染。同時其內部材料(liào)要能經受各種滅菌劑侵蝕,內(nèi)部一般保證正壓(yā)。實(shí)質上其內部材(cái)料要能(néng)經受各種滅菌處理的(de)工業潔淨室。例:製藥工業、醫院(手術室、無菌病房)食品、化妝品(pǐn)、飲料產品生產、動物實驗室、理(lǐ)化檢(jiǎn)驗室、血站等。B、 生物學安全潔淨室:主要控製工作對象的有生命微粒對外界(jiè)和人的汙(wū)染。內部要保(bǎo)持與(yǔ)大(dà)氣的(de)負壓。例:細菌學、生物學、潔淨實驗(yàn)室、物物工程(chéng)(重組基因、疫苗製(zhì)備)、
五、萬級淨化亂流潔淨室的原理和特性:
1、定義:亂流潔淨室的定義是氣流以不均勻速(sù)度、不平行(háng)流動、伴有回流或渦流的潔淨室.
2、原理:亂流潔淨室靠送風氣流(liú)不(bú)斷稀釋室內空氣(qì),將汙染空氣逐漸稀釋,來實現潔淨的(亂流潔淨室一般設計在千級以上至30萬級淨(jìng)化級別)。
3、特性:亂流潔淨室(shì)是(shì)靠(kào)多次換氣(qì)來實現潔(jié)淨與潔淨級別。換氣次數(shù)決定定義中的淨化級別(bié)(換氣次數越多,淨化(huà)級別越高)
(1)、自(zì)淨時間:是指潔淨室按設計換氣(qì)次數開始送風到潔淨室,室內含塵濃度達到所設計的淨化(huà)級別的時間。
1,000級希望不超過20min(分鍾) (可取(qǔ)15min計算) 10,000級希(xī)望不超過30min(分鍾) (可(kě)取25min計算)
100,000級希(xī)望不超(chāo)過40min(分鍾) (可取30min計算)
(2)、換(huàn)氣次數(按上述自淨時間要(yào)求設計)1,000級 43.5—55.3次/小時(shí) (規範(fàn):50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時(shí) (規範:25次/小時(shí)) 100,000級 14.4—19.2次/小時(shí) (規(guī)範:15次/小時)
六、萬級淨化潔淨室(shì)換氣次數估算:
千級潔(jié)淨(jìng)室不小於50次(cì)/h;
萬級潔淨室不(bú)小於25次/h;
十萬級潔淨(jìng)室不小於(yú)15次/h。
萬級換氣次(cì)數[1] ≥25次/小時(一般取27-28);十萬級換(huàn)氣次數≥15次/小時(一般(bān)17-18)
但是不能盲(máng)目(mù)按照換氣次數進行設計風量,要考慮房間及工藝餘熱、餘濕。