一、萬級淨化概括:
萬級淨(jìng)化(huà)主要靠潔淨的氣(qì)流不斷稀釋室內的空氣,將室內的汙染逐漸排出,來(lái)實現(xiàn)潔淨效(xiào)果。室內的氣(qì)流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng),拌有回流或渦流,不同等級的無塵室,主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實(shí)現.。 目(mù)前有十萬級和(hé)三十萬級(jí)兩種標準。
二、萬級淨化潔淨室:
潔淨室(Clean Room),亦稱為無塵室或清淨室。
「潔淨室」是(shì)指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣(qì)流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣(qì)條件如何(hé)變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等(děng)性能之特性。
三、萬(wàn)級淨化作(zuò)用
潔淨室最主(zhǔ)要(yào)之作用在於控製(zhì)產品(如矽芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造(zào),此空間老汉私人影院永久入口稱之為「潔淨室」。
世界(jiè)各國均有自定規格,但普遍還是用(yòng)美國聯邦標準(zhǔn)209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各(gè)國製(zhì)定標準作介紹與相互比較。
209E與209D等最大之不同在於(yú)209E表示單位增加了公製單位,潔淨室等(děng)級以‵M′字(zì)頭表(biǎo)示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國際公製單位之標準化,M字(zì)母(mǔ)後之阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒(lì)子數目字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵粒子數介於前(qián)後二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
美國聯邦標準(zhǔn)FS
209D都以英製每立方英呎為單位,日本則是采用公製,即以每立(lì)方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數標準。日(rì)本標準之表示法(fǎ)以Class
1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級為Class 1,最差則為Class
8,以每立方公尺中(zhōng)微塵粒子總數中化為10的(de)冪次方,取(qǔ)其指數而得。
四、萬級淨化潔淨室分類:
(1)、工業潔淨室——以無生命微(wēi)粒的(de)控製為對象。主要控製空氣(qì)塵埃微粒對工作對象的汙染,內(nèi)部一般(bān)保持正壓(yā)狀態。
它適用於精密機(jī)械工(gōng)業、電子工業(半(bàn)導體、集成電(diàn)路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生(shēng)產)LCD(液晶玻(bō)璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生(shēng)產等多行業。
(2)、生物潔淨室,主要控製有生命微(wēi)粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的汙染。又可分為;
A、
一般生物潔淨室,主要控製微生物(細菌)對象的汙染。同時(shí)其(qí)內部材料要能經受各(gè)種滅菌劑侵蝕,內部一般保證(zhèng)正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理(lǐ)的工業潔淨室。例:製藥工業、醫院(手術室(shì)、無菌病房)食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。B、 生物學安全潔淨室:主要控製工作對象的有生命(mìng)微(wēi)粒對外界(jiè)和人的汙染。內部要保持與大氣的負(fù)壓。例:細菌學、生物學、潔淨實驗室、物物(wù)工程(重組基因、疫苗製備)、
五、萬級淨化亂流潔淨室的原理和特性:
1、定義:亂流潔(jié)淨室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動、伴有回流或渦流的潔淨室.
2、原理:亂流潔淨室(shì)靠送風氣流不斷稀釋(shì)室內空氣,將汙染空氣逐漸稀釋,來實(shí)現潔淨的(亂流潔淨室一般設計在千級以(yǐ)上(shàng)至30萬級淨化級別)。
3、特性:亂流潔淨室是靠多(duō)次換氣來(lái)實現潔淨與潔淨級別。換氣次數決定定義中(zhōng)的淨化級別(換氣次數越多,淨化級別(bié)越高)
(1)、自淨時間:是指潔淨室按設計換氣次數開始送風到(dào)潔淨室,室內含塵濃度達到所設計的淨化級別的時間。
1,000級希望(wàng)不超過20min(分鍾) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鍾) (可取25min計算)
100,000級希望不超過(guò)40min(分鍾) (可(kě)取30min計算)
(2)、換氣次(cì)數(按上述自淨時間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小時 (規範:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規範:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規範:15次/小時)
六、萬級淨化潔淨室換氣次數估算:
千級潔淨室不小於50次/h;
萬級潔淨室不小於25次/h;
十萬(wàn)級潔淨室不小於15次/h。
萬級換氣次數[1] ≥25次/小時(一般取27-28);十萬級(jí)換氣次數≥15次/小時(一般17-18)
但是不(bú)能盲目按照換氣次數進行設計風量,要考(kǎo)慮房間及工藝餘熱、餘濕。